ТУСУР импортозаместит прибор для измерений при производстве микроэлектроники

Томск. 13 августа. ИНТЕРФАКС - Ученые Томского университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) до конца 2027 года разработают профилометр - установку для измерения параметров поверхности полупроводниковых пластин, сообщает пресс-служба вуза.

"Профилометр необходим при производстве микроэлектроники. На этапах прохождения полупроводниковой пластины по маршруту он задействуется после каждой технологической операции формирования фоторезистивной маски и топологии микросхемы. Это важная операция в технологическом маршруте - на основе результатов тестирования можно либо оперативно скорректировать технологический процесс, либо удостовериться, что все делается правильно", - приведены в сообщении слова директора НОЦ "Нанотехнологии" Евгения Шестерикова.

Задача прибора - контроль шероховатости и рельефа поверхности полупроводниковых пластин, измерение высоты и составление 3D-карты профиля топологии изготавливаемых микросхем на различных этапах технологического процесса.

Измерения прибора важны, поскольку если механические напряжения будут превышать определенный уровень, может потрескаться либо сама пластина, либо диэлектрические пленки, выполняющие роль межуровневой изоляции, конденсаторного диэлектрического слоя или защитного слоя. Такие пластины нужно отслеживать и снимать с технологического маршрута.

"Задача оператора - загрузить в установку кассету с полупроводниковыми пластинами. Все остальные манипуляции проводит робот: последовательно берет пластины из кассеты, кладет на прецизионный подвижный стол, с помощью измерительной системы проводит необходимые измерения, а после проведения измерений аккуратно возвращает пластины обратно в кассету. Данные передаются на компьютер, обрабатываются, и оператор на их основе принимает решение - отправить пластины дальше по маршруту или забраковать", - пояснил Шестериков.

Разработка ведется в рамках госпрограммы "Научно-технологическое развитие Российской Федерации", финансирование работ составляет 238,3 млн рублей. К настоящему моменту создан макет измерительной головки на основе оптической интерферометрической системы измерения, в которой задействован лазер и оптический приемник, ведется работа над роботом-загрузчиком и системой прецизионного перемещения пластины.

В сообщении говорится, что пока в устройстве используются импортные комплектующие. Однако по мере разработки отечественных, планируется адаптация профилометра с учетом их интеграции в конструкцию.

Прибор, разрабатываемый в ТУСУРе, рассчитан на измерение пластин диаметром от 50 до 200 мм. Для пластин диаметром 300-500 мм, которые используется на современных кремниевых фабриках, потребуется установка с измерительным столом большего диаметра. Ученые отмечают, что создать такую установку будет возможно по аналогии - принцип работы будет тот же, только измерительная площадка понадобится немного больших размеров.

Потребности внутреннего рынка в профилометрах оцениваются в 3-5 установок в год. Планируется, что производство профилометров будет осуществляться на базе ТУСУРа.

ТУСУР создан в 1962 году как институт радиоэлектроники и электронной техники, статус университета получил в 1997 году; ведет подготовку бакалавров, специалистов и магистров по всем основным разделам электроники и радиотехники, программирования, информационной безопасности, электронной и вычислительной техники, автоматики и систем управления, информационных технологий.